應(yīng)用鄰域：用于玻璃減薄制程工藝中殘留于噴淋設(shè)備噴頭中氟化物殘渣的去除，工藝要求45℃  噴淋式。清洗后表面乾浮無殘留，藥液清洗快速無安全性問題。